水环真空泵的技术参数作为采购人员这是必须要了解的,作为那些使用的客户未必知道这一点,我们来重新学习一下这个问题的知识。
1、机泵同轴式直联设计,节省空间,易于安装。
2、采用机械密封作为标准配置,消除了泄露,维护简便。
3、运行平稳,噪音可低到62分贝。
4、统一的耐腐蚀设计,青铜叶轮提高了泵的耐腐蚀性,不锈钢材质更适用于更为苛刻的应用。
5、独特的柔性排气口设计,不会产生过压缩,确保了2BV在其性能范围内效率佳
山东众邦真空设备有限公司是生产水环真空泵厂家,主要产品有:水环真空泵、2BV真空泵、sk真空泵,多种系列系列水环式真空泵及压缩机、W往复式真空泵等。
产品广泛用于机械、石油、化工、造纸、食品、制糖、电子、冶金、陶瓷、引水、印染、建材、塑机、高层建筑给水等领域。我们提供水环真空泵工作原理详细介绍,包括水环真空泵选型、作用、安装技术等知识,为用户提供指导帮助。
半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀,真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生yi燃易bao以及有毒的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,水环式真空泵应用时需要注意的几个安全事项:
1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压
半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,罗次水环真空泵组,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,一点中提到的危险性也更大。需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。
2、有效稀释有害气体的浓度
半导体易产生前面所说的yi爆、有毒的有害气体。半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至爆;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。
3、注意氧气的浓度
空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及爆风险。一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高;假设是油封机械泵可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油,并及时更换油滤和油品。
4、防止温度过高
比较容易理解这点,半导体在真空泵的应用中,有害气体比较多,而无论是干式真空泵还是油封机械泵,泵腔内温度过高,广东真空泵组,高温下易ran爆及有毒气体就会容易发生危险。
当我们在使用真空泵的时候,需要注意到在导体中的使用安全注意事项吗,以及后期再使用时做好操作使用。
如果水环真空泵存在间隙,对性能会有相关的影响。间隙产生就会漏气,实质上就是漏气对它的性能的影响,以下是一些小学问,一起了解一下:
水环真空泵的间隙分为径向间隙和轴向间隙。
径向间隙是指水环真空泵工作时,液环真空泵组,泵体上部的水环内界线没有紧紧地贴在轮廓上,其间留存有间隙,于是压缩腔的气体就可通过这间隙泄漏到吸入腔里去。这种容积损失往往很大,例如在真空度为60%时可高达35-38%。
径向间隙的存在,将会使效率下降、耗水量增加、工作不平稳,产生噪音。
对轴向单作用泵而言,轴向间隙是指叶轮和泵体之间的端面间隙。
当间隙超过某一数值时,同一轴向间隙的泵所需的相对抽空时间与要求达到的真空度有关,对于同一真空度,相对抽空时间又随轴向间隙的增加而增加。
相对抽空时间对于燃油泵、消防水泵显得更为重要。船舶水泵以及大中型泵站真空引水装置,对相对抽空时间也有一定的要求。
我们一定要做好检查工作,防止间隙的存在,当有间隙时存在时及时修理,减少不必要的造成的影响。
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