特种气体应用于国民经济的很多行业，它在电子行业、石油化工、医1药等各领域发挥着巨大的作用。我国特种气体经过30余年的发展，高纯特种气体，无论在气体品种上，电子特种气体，还是在数量上， 都以的速度发展， 生产的品种基本上满足了市场的需求。电子特种气体种类多，应用领域广泛。电子特种气体在半导体整个制程应用中成本占比仅为5%~6%，但是由于其品种繁多，在半导体制程工艺中覆盖广泛，因此成为衡量半导体技术的核心产品。自80年代1开始，淄博特种气体，我国的气体工业迅速发展，各类纯气体、高纯气体、特种气体、混合气体、标准气体、电子工业用气体等相继问世，其品种数目已与国外发达国家水平相近。
特种气体在太阳能电池中的应用：晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 POCl3 和 O2，减反射层 PECVD 工艺用到SiH4、NH3，刻蚀工艺用到 CF4；特种气体是工业气体中的一个新兴门类，是随着近年来工业、科学研究、自动化技术、精密检测，特别是微电子技术的发展而发展起来的。灭菌特种气体主要应用于（绷带、缝线及手术器具）、包装、纺织品、橡塑制品、化妆、粮食等产品及贮藏方面的杀菌。
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